Gravure

Gravure sèche (plasma ionique) :

  • RIE, DRIE
  • FIB (Focus Ion Beam)
  • Matériaux : Silicium (max 6 pouces), Verre, Si3N4, LiNbO3,… (max 4 pouces)

Gravure humide :

  • KOH, BHF
  • vapeurs HF

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Caractérisation

Microscope (MEB, optique, FIB), profilomètre mécanique Mesures spécifiques : Contraintes, indice optique, angle de contact