activités

Un panel de compétences pour répondre aux besoins des entreprises

from science to society

Dépôt

Dépôts de couches minces et épaisses

Lithographie UV & électronique Fabrication de masque de photolithographie

Gravure sèche (plasma ionique) : RIE, DRIE FIB (Focus Ion Beam) Matériaux : Silicium (max 6 pouces), Verre, Si3N4, LiNbO3,…

Microscope (MEB, optique, FIB), profilomètre mécanique Mesures spécifiques : Contraintes, indice optique, angle de contact

Femto Engineering | From science to society
15B avenue des Montboucons, 25030 Besançon Cedex

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