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Un panel de compétences pour répondre aux besoins des entreprises

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Microtechnologies salle blanche

MICROFABRICATION- MICRO & NANO TECHNOLOGIE

Notre équipe d’ingénieurs spécialisés répondent à vos demandes spécifiques allant de l’étude de faisabilité avec le développement de procédés et de prototypes à la fabrication en petites séries avec des coûts, délais et qualité maîtrisés.

Nous proposons notamment :

  • Études bibliographiques & consultations technologiques,
  • Développement de procédés spécifiques,
  • Prestations de micro-fabrication sur un savoir-faire éprouvé,
  • Étude de l’industrialisation des procédés et aide au transfert technologique.


Nous opérons dans la centrale de technologies MIMENTO à Besançon dotée d’un parc d’équipements de haute technologie sur 1400 m² de salle blanche (ISO 5 à 7 – ISO 9001) dans les domaines de la micro-mécanique, micro-nano-optique et radio-fréquence.

Nos compétences

Photolithographie

Lithographie UV & électronique Fabrication de masque de photolithographie

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Dépôt

Dépôts de couches minces et épaisses

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Gravure

Gravure sèche (plasma ionique) : RIE, DRIE FIB (Focus Ion Beam) Matériaux : Silicium (max 6 pouces), Verre, Si3N4, LiNbO3,…

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Packaging

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Caractérisation

Microscope (MEB, optique, FIB), profilomètre mécanique Mesures spécifiques : Contraintes, indice optique, angle de contact

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Equipements de la centrale MIMENTO

Nos réalisations spécifiques

Convertisseur de fréquences optiques

– Fabrication de PPLN
– Composants SHG

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Puces SPR

– Fabrication de puces à propriétés plasmonique (SPR)
– Coatings spécifiques (SiO2, TiO2, etc)
– Biofonctionnalisation

... Lire plus

Moules haute résolution

– Moule polymère
– Moule métallique
– Moule silicium

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Wafer Hybride

– Collage métallique multi-matériaux
– Amincissement multi-matériaux
– Couches minces multi-matériaux

... Lire plus
Brochure services Salle Blanche

Contactez-nous

Florent BASSIGNOT, PhD
Cleanroom Microfabrication Manager
Business Engineer

FEMTO Engineering
Bâtiment TEMIS
15B avenue des Montboucons F-25030 BESANÇON cedex

  • Tél +33 (0)3 81 66 55 83
  • florent.bassignot@femto-engineering.fr

Les actus Microfabrication

Salon Global Industrie, Eurexpo Lyon, du 7 au 10 mars 2023

28 février 2023

JNTE 2022, du 28/11 au 2/12, Besançon

28 novembre 2022

Clôture du projet, MiMédI, Microtechniques pour les Médicaments Innovants

13 octobre 2022

Salon MICRONORA, du 27 au 30 septembre 2022, Besançon

29 août 2022

Microtechnologie salle blanche : une plateforme ouverte aux industriels

12 juillet 2021

Excellente année 2021

18 janvier 2021

Créer Demain le 25 et 26 novembre – Besançon

10 novembre 2020

FEMTO Engineering maintient ses activités pendant le confinement

2 novembre 2020

Femto Engineering | From science to society
15B avenue des Montboucons, 25030 Besançon Cedex

  • 03 63 08 24 14
  • contact@femto-engineering.fr

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