Microtechnologies salle blanche

MICROFABRICATION- MICRO & NANO TECHNOLOGIE

Notre équipe d’ingénieurs spécialisés répondent à vos demandes spécifiques allant de l’étude de faisabilité avec le développement de procédés et de prototypes à la fabrication en petites séries avec des coûts, délais et qualité maîtrisés.

Nous proposons notamment :

  • Études bibliographiques & consultations technologiques,
  • Développement de procédés spécifiques,
  • Prestations de micro-fabrication sur un savoir-faire éprouvé,
  • Étude de l’industrialisation des procédés et aide au transfert technologique.


Nous opérons dans la centrale de technologies MIMENTO à Besançon dotée d’un parc d’équipements de haute technologie sur 1400 m² de salle blanche (ISO 5 à 7 – ISO 9001) dans les domaines de la micro-mécanique, micro-nano-optique et radio-fréquence.

Nos compétences

Gravure

Gravure sèche (plasma ionique) : RIE, DRIE FIB (Focus Ion Beam) Matériaux : Silicium (max 6 pouces), Verre, Si3N4, LiNbO3,…

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Caractérisation

Microscope (MEB, optique, FIB), profilomètre mécanique Mesures spécifiques : Contraintes, indice optique, angle de contact

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Nos réalisations spécifiques

Puces SPR

– Fabrication de puces à propriétés plasmonique (SPR)
– Coatings spécifiques (SiO2, TiO2, etc)
– Biofonctionnalisation

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Contactez-nous

Florent BASSIGNOT, PhD
Cleanroom Microfabrication Manager
Business Engineer

FEMTO Engineering
Bâtiment TEMIS
15B avenue des Montboucons F-25030 BESANÇON cedex