FEMTO Engineering est un centre de R&D de la Fondation FC Innov
De la recherche à l’industrie
FEMTO Engineering est un centre de R&D de la Fondation FC Innov
La microfabrication en salle blanche permet de réaliser des structures et des composants à l'échelle micrométrique et nanométrique, avec une maîtrise des procédés et des matériaux inaccessible en dehors d'un environnement contrôlé. C'est la technologie de base des MEMS, des microsystèmes, des composants optiques de précision et de nombreux dispositifs biomédicaux.
FEMTO Engineering propose aux industriels un accès aux procédés et aux équipements de la salle blanche MIMENTO de l'institut FEMTO-ST, certifiée ISO 5 à 7 et ISO 9001, membre du réseau national RENATECH. L'équipe accompagne les projets de la définition du procédé jusqu'à la livraison des composants, en assurant l'interface entre les besoins industriels et les capacités technologiques de la plateforme.
Vous avez besoin de structures à l'échelle micrométrique ou nanométrique, sur des matériaux spécifiques, avec des tolérances que l'usinage conventionnel ne peut pas atteindre. Vous n'avez pas accès à une salle blanche ni aux procédés de microfabrication nécessaires.
Vous avez une idée de composant ou de dispositif mais vous ne savez pas si le procédé est faisable sur vos matériaux, ni quels paramètres utiliser. Vous avez besoin d'une phase d'exploration et de tests avant de vous engager
Vous avez validé un concept et vous avez besoin de passer à une production limitée pour des phases de qualification, de test ou de mise sur le marché, sans investir dans vos propres équipements de salle blanche.
Vous travaillez sur des substrats exigeants — quartz, saphir, LiNbO3, diamant — qui nécessitent des procédés spécifiques non disponibles chez les sous-traitants classiques.
Votre projet nécessite un environnement contrôlé ISO pour garantir la propreté et la reproductibilité des fabrications, mais investir dans votre propre salle blanche n'est pas justifié pour votre volume de production.
Évaluation de la compatibilité matériau / procédé, premiers essais en salle blanche, rapport de résultats.
Mise au point de procédés sur mesure sur Si, verres, quartz, saphir, diamant, LN, LT. Optimisation, documentation et transfert.
Accès aux équipements et aux expertises de FEMTO Engineering pour des besoins ponctuels ou récurrents.
Production en quantité limitée pour des phases de qualification, de validation ou de mise sur le marché.
Découpage et polissage de précision, wire bonding, wafer bonding, micro-assemblage flip-chip.
Micro-capteurs, micro-actionneurs, résonateurs, gyroscopes, accéléromètres. Pour les industriels qui développent des systèmes embarqués ou des instruments de mesure nécessitant des composants miniaturisés et fiables.
Réseaux de diffraction, guides d'onde, structures ridge sur LN, composants PPLN et PPLT pour l'optique non linéaire. Pour les fabricants de systèmes optiques qui ont besoin de composants sur substrats spéciaux avec des spécifications hors catalogue.
Biopuces, lab-on-chips, microréacteurs pour analyse biologique, membranes de filtration, structures microfluidiques dans matériaux biocompatibles. Pour les équipes qui développent des dispositifs médicaux ou des outils d'analyse biologique nécessitant une fabrication en environnement contrôlé.
Micro-engrenages, ressorts, pièces de précision en Si3N4 et autres matériaux durs. Pour les industriels de l'horlogerie et de la mécanique fine qui ont besoin de composants avec des tolérances géométriques serrées et des propriétés mécaniques garanties.
Substrats pour circuits intégrés, packaging de composants électroniques de précision, composants pour applications RF. Pour les équipes qui travaillent sur des systèmes électroniques haute fréquence nécessitant des procédés de dépôt et de gravure contrôlés.
FEMTO Engineering donne aux industriels un accès concret à l'une des meilleures plateformes de microfabrication françaises, sans avoir à investir dans des équipements de salle blanche ou à recruter des spécialistes.
Pour un projet nécessitant des procédés de fabrication à l'échelle micrométrique ou nanométrique, c'est un raccourci direct vers des capacités de recherche de niveau international, avec un accompagnement technique qui part du besoin industriel et s'adapte aux contraintes de délai et de budget.
Lithographie UV et LIGA pour la définition de motifs à l'échelle micrométrique. Résines standard et épaisses (KMPR 1050).
RIE, DRIE profonde sur matériaux diélectriques (verre, Si3N4, LN), FIB, gravure KOH et BHF. Verticalité des flancs supérieure à 88°, rugosité inférieure à 5 nm.
Fabrication de couches minces 100% monocristallines de 1 à 300 µm de silicium, quartz, LN, LT, verre, saphir sur différents types de substrats. Process propriétaire garantissant le maintien des propriétés physico-chimiques.
MEB, AFM, ellipsométrie, réflectométrie, profilométrie, mesures de résistivité par testeur sous pointes HF et BF.
Rapport de forme maximal de 400, rugosité des flancs inférieure à 5 nm, fabrication sur substrats jusqu'à 4 pouces.
FEMTO Engineering accompagne les entreprises dans le développement de technologies avancées, en s’appuyant sur l’excellence scientifique de l'institut FEMTO-ST. FEMTO Engineering dispose d'une équipe dédiée d’ingénieurs et de docteurs spécialisés, au service de vos projets d'innovation, immergée au milieu des équipes de recherche de FEMTO-ST.
Notre rôle : transformer des résultats de recherche académiques en solutions industrielles concrètes.
