FEMTO Engineering est un centre de R&D de la Fondation FC Innov

De la recherche à l’industrie

Lithographie UV & électronique

  • Enduction par spin-coating & spray-coating. Aligneur UV Simple & Double Face
  • Résine : positive & négative, Epoxy (SU-8)

Fabrication de masque de photolithographie

  • Résolution 800 nm
  • Taille des masques : 4, 5, 6 et 7’’ & Ecriture direct sur wafer 3’’ et 4 ’’
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