activités

from science to society

  • Nos activités : Microfabrication

Photolithographie

  • Lithographie UV & électronique
  • Fabrication de masque de photolithographie

Lithographie UV & électronique

  • Enduction par spin-coating & spray-coating. Aligneur UV Simple & Double Face
  • Résine : positive & négative, Epoxy (SU-8)

 

Fabrication de masque de photolithographie

  • Résolution 800 nm
  • Taille des masques : 4, 5, 6 et 7’’ & Ecriture direct sur wafer 3’’ et 4 ’’

contact : florent.bassignot@femto-engineering.fr

Lire également :

Gravure

Gravure sèche (plasma ionique) : RIE, DRIE FIB (Focus Ion Beam) Matériaux : Silicium (max 6 pouces), Verre, Si3N4, LiNbO3,…

Caractérisation

Microscope (MEB, optique, FIB), profilomètre mécanique Mesures spécifiques : Contraintes, indice optique, angle de contact